产品简介
用于电真空器件的排气工艺过程
极限真空度3×10-7Pa~5×10-9Pa
烘箱*高温度:600℃. 程序温控精度<±1℃
有单工位、双工位、多工位等多种型号
有不同尺寸的多种型号
产品详细信息
超高真空排气台
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用于电真空器件的排气工艺过程
极限真空度3×10-7Pa~5×10-9Pa
烘箱*高温度:600℃. 程序温控精度<±1℃
有单工位、双工位、多工位等多种型号
有不同尺寸的多种型号
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![](http://145702.18show.cn/ComFolder/18show/145702/2006629152625403.gif) |
类型 参数 配置
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CP1
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CP2
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CP3
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CP4
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CP5
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CP6
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CP7
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CP8
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CP9
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工位数量
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2
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5~14
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1
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2
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1
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1~4
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2
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3
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2
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机组
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机械泵 分子泵 离子泵 (低温泵)
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干泵 分子泵 离子泵 (低温泵)
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机械泵 分子泵 离子泵
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机械泵 分子泵 离子泵
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机械泵 分子泵 离子泵
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离子泵 吸附泵
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机械泵 分子泵
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机械泵 分子泵 离子泵
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机械泵 分子泵 离子泵
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极限真空
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5×10-8Pa
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5×10-8Pa
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2×10-7Pa
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2×10-7Pa
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4×10-7Pa
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8×10-7Pa
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5×10-6Pa
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5×10-7Pa
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8×10-8Pa
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有效加热区
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φ600*1200
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φ500*1000
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φ600*1200
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φ500*600
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φ800*2000
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φ500*600
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φ500*1200
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φ800*400
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φ1100*3000
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烘箱温度
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600℃
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600℃
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550℃
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550℃
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550℃
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500℃
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550℃
|
450℃
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600℃
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烘箱真空度
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2Pa
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2Pa
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2Pa
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2Pa
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2Pa
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常压
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2Pa
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常压
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5*10-3Pa
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升降类型
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双柱机械升降
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双柱机械��降
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单柱液压升降
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单柱液压升降
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单臂侧开门
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单柱液压升降
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双柱机械升降
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双柱龙门式机械升降
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吊装
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升降高度
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1200
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1000
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600
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600
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无
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600
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1200
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500
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3000
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控制类型
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手动+自动
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手动+自动
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手动+自动
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手动
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手动+自动
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手动+自动
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手动
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手动
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手动+自动
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*大功率
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30kw
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30kw
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15kw
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15kw
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55kw
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12kw
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20kw
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12kw
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80kw
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