无氧化精密烤箱

一．用途:
无氧化精密烤箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

二．特点：
1.在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100
2.全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
3.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风，过滤效率99.99%，Class 100,排气口：３"φ(附自动启闭风门)
4.强制送风循环方式。双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到*佳温度控制精度。

三．无氧化精密烤箱产品技术参数：

1.主要技术指标：
   无尘等级：Class 100;                   温度范围： 60～ +300℃；
   温度均匀度：200℃±4℃;             温度波动度：±0.5℃（空载）        
   温控精度：±0.1℃;                        工作尺寸：W800×D600×H1300         
   电源：380v , 50Hz，15KW         网板：2块（高度可调节)

洁净度100级的洁净热处理
HEPA过滤器与前出风型水平层流循环方式实现并保证箱内的温度分布的均匀性与100级洁净度。*小限度控制风速距离。
M计装可编程控制
1模式20步骤，*多可做10个模式。温度上升·下降斜率设定程序的重复次数在1-999次间设定。
简单操作的标准计装
标准配置定值运行模式以及自动启动·自动停止等可设定动作的程序运行。标准配置温度过升防止器。 

型号	温度范围	内容积	其它参数	内尺寸 （W×H×Dmm）	外尺寸 （W×H×Dmm）
PVC-178	(RT+60)～+200℃	178L	洁净度：100级	580×530×580	770×1,280×1,025
PVC-380	(RT+60)～+200℃	380L	洁净度：100级	580×1130×580	770×1,880×1,025
PVC-678	(RT+60)～+200℃	678L	洁净度：100级	800×1130×750	1,030×1,880×1,025
PVHC-178	(RT+60)～+350℃	178L	洁净度：100级	580×530×580	770×1,280×1,025
PVHC-380	(RT+60)～+350℃	380L	洁净度：100级	580×1,130×580	770×1,880×1,025
PVHC-678	(RT+60)～+350℃	678L	洁净度：100级	800×1,130×750	1030×1,880×1,210
PVHC-347MS	(RT+60)～+300℃	347L	洁净度：100级	580×1,130×530	770×1,880×1,025
PVHC-633MS	(RT+60～+300℃	633L	洁净度：100级	800×1,130×700	1,030×1,880×1,210