26 系列铝挡板阀
安捷伦科技很高兴为您提供与 VAT 公司合作生产的 26 系列铝挡板阀。26 系列阀门紧凑可靠,可以在半导体和仪器制造、研发和工业真空系统的粗真空至高真空应用中使用。这些挡板阀在大多数应用中**维护前能可靠地实现 3 百万次关断。这些阀门有直角和直通两种型号,均可手动和气动操作。气动阀也可配置位置指示器。位置指示器可在开关时输出电信号,并且用户可以设置常开或常闭模式。
**维护前关断次数 | 带手动致动器 | 10 000 |
带关闭弹簧(气动) | 3 百万次 |
*高温度 | 阀体 | ≤ 150 °C |
手动和气动致动器 | ≤ 120 °C |
电磁阀,位置指示器 | ≤ 80 °C |
材质 | 阀体 | 铝 EN AW-6060 (3.3206) |
插板 | AISI 316L (1.4404, 1.4435) |
波纹管 | AISI 316L (1.4404, 1.4435), AISI 316 Ti (1.4571) |
密封:阀盖,插板 |
| 氟橡胶 (Viton) |
>安装方向 |
| 任意 |
电磁阀 |
| 24 VDC, 115 VAC, 220 VAC |
>位置指示器:触点额定值 | 电压 | 5 – 50 V AC/DC |
电流 | 5 – 100 mA |
>阀位指示 |
| 可视(机械) |
漏率:阀体,阀座 |
| < 1 · 10 -9 mbar Is-1 |
>压力范围 (波纹管) |
| 1 · 10-8 mbar 至 5 bar(**压力) |
插板处的压力差 | 在打开方向 | ≤ 2.0 bar |
在关闭方向 | ≤ 5.0 bar |
开启时压差 |
| ≤ 1 bar |
技术参数
09_Vacuum_Measurement.pdf