1200°C三温区二通道混气高真空CVD系统炉--OTF-1200X-III-HVC

OTF-1200X-III管式炉

壳体结构

• 双层壳体结构，便带有风冷系统，使得壳体表面温度小于55度
• 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命

炉管

• 材质：高纯石英管
• 石英管包含在内
• 可以选择其他管径

管堵放置位置

功率

7KW

额定电压

AC 208-240V 单相50/60Hz

加热元件

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo（电阻丝表面涂有氧化锆涂层，*大程度的延长加热元件的使用寿命）

工作温度

• *高工作温度：1200℃
• 连续工作温度：1100℃

升温速率

升温速率： 1~20℃/min 可编程

加热区长度

总加热区：900mm (300mm + 300mm + 300mm)

控温程序

• 三个精密温度控制器分别控制三个温区
• PID自动控制方式，可设置30段升降温程序
• 控温精度： ±1℃
• 热电偶 ：采用K型热电偶进行测温

真空密封

• 一对不锈钢真空法兰，已经安装
• 法兰上已安装机械压力表
• 一对精密针阀
• KF-40抽气接口

额定电压

AC 208-240V 单相, 50/60Hz

尺寸

1100(L) x 450(W) x 670(H), mm

高真空机组

结构

• 壳体尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
• *大承重:  600 Lbs
• 分子泵显示屏： LCD 数字显示
• 壳体内安装有有一台德国制造分子泵

抽气速率

• N2   33 L/s
• He   39 L/s   (2340L/minute)
• H2   32 L/s

工作范围

From 1000 mbar to <1E-7 mbar

极限

<1E-8 mbar (无泄漏)

电压&功率

110VAC~ 220VAC, 110W

质量流量控制系统

壳体结构

• 2~9通道气体采用PLC触摸屏控制和PC操作软件
• LED 显示
• 4通道MFC采用316不锈钢制作，气体流量如下

通道1: 0~100SCCM

通道 2: 1~199 SCCM

通道 3: 1~199 SCCM

通道4: 1~499 SCCM

• 4个通道的气体经过气体混合罐尺寸: 600(L) x 745(W) x 700(H), mm

功率

18W

额定电压

AC 208-240V, 单相, 50/60Hz

开门断电

为保证使用**，该电炉为开门断电设计

质保期

一年质保期，相关耗材除外，如炉管密封圈加热元件等易耗件

使用注意事项

• 炉管内气压不可高于0.02MPa
• 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加****
• 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态
• 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
• 石英管的长时间使用温度＜1100℃
• 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）