莱宝Magintegra系列磁悬浮分子泵
产品简介
MAGiNTEGRA可靠耐用，能够承受工艺中产生的颗粒和沉积物。它可以承受生产过程中引起的大气流冲击，可以在任意位置以任意角度安装。整体外形对称设计，与变频器合为一体，且变频器的安装位置灵活，节约了安装空间。由于使用了五轴定位磁悬浮轴承，TURBOVACMAGiNTEGRA几乎免维护，同时无碳氢化合物污染的风险，极其适合脂润滑机械轴承分子泵不适用的对碳氢化合物污染有严格要求的真空应用。MAGiNTEGRA的另一个显着优点是在运行时产生的振动极小，这对于某些应用是非常重要的。
产品详细信息
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新一代数字化控制，五轴定位的磁悬浮分子泵
MAG 1500C／CT，MAG2000C／CT，MAG2200C／CT，MAG 2800C／CT，MAG 3200C／CT
抽速：1500l／s～3200l／s
●五轴定位双端磁悬浮轴承系统，自平衡性能好全无油，耐粉尘、抗气流冲击。
●转子采用高强度铝合金，一次高速铣削成形，应力小，强度高，耐冲击，高温变形量小，转子叶片不易卷曲、打碎；转子长期运行温度可高达120℃。
●转子及定片均采用莱宝砖利技术的 KAPLAR 涂层
●较镀镍的转子具有更强的防腐蚀性能，适用于抽除腐蚀性强的工艺气体；
●降低气流与转子叶片摩擦产生的热量，降低转子运行温度，有利于延长转子寿命；
●叶片镀 KAPLAR 的转子较镀镍的转子重量更轻。
●保护轴承为陶瓷轴承，寿命长（＞600次），无需更换保护轴承。
●高真空端连接采用ISO-F，连接螺栓强度高，充分保障***。
●智能化电源，无需UPS。
●带拖动级，前级耐压在2mbar以上。
●分子泵运行温度可调节，使其充分适应不同工艺制程。
●超先进的数字控制技术
●运行速度、温度可设置；
●运行数据记录存储，提供多达180条运行信息；
●磁悬浮轴承及泵运行温度采用数字化控制，信号处理速度快，系统反应时间短
●转子受气流冲击或杂物不均匀沉积在叶片而使转子动平衡变化时，磁场补偿反应时间短；
●在气流长时间（2分钟以上）过大，而使泵负载过高，发热量过大时，泵速会快速自动调节，使泵温下降到正常水平。
●控制器与泵无识别性，可互换。
●免维护。
典型应用：
适用于
●所有半导体主要制程：刻蚀、化学气相沉淀及离子注入
●科研领域
●镀膜
另外，莱宝公司磁悬浮分子泵系统中还包括单轴定位的 TURBOVAC340M，MAG400和MAG1000。
TURBOVAC (T) 350-450 i采用革新的模块化设计理念，可以根据对压强和气载量的要求来优化产品性能，极大限度地满足客户的需求。
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