反射式膜厚量测仪 大塚电子
产品简介
反射式膜厚量测仪对应所有基板上多层膜测量的光干涉膜厚仪。实绩很多。 高精度，高感度从薄膜到厚膜的广范围多层膜分析
产品详细信息
可对应所有基板上多层膜测量的光干涉膜厚仪。实绩很多。
高精度，高感度从薄膜到厚膜的广范围多层膜分析
反射式膜厚量测仪的产品特点
式样
测量项目
多层膜解析
光学常数解析(n：折射率k:消光系数)
**反射率
测量实例
高精度，高感度从薄膜到厚膜的广范围多层膜分析
反射式膜厚量测仪的产品特点
- 对应紫外到近红外（190～1600nm）广波长范围。
- 利用高分辨率传感器，可对应厚膜以及超厚膜样品类型：0.8～1mm
- 利用非线性*小二乘法薄膜解析软件，可解析多层薄膜的膜厚，光学常数（n:折射率，k：消光系数）等薄膜特性。
- 利用背面反射补正，对应透明基板
- 可测量微小光斑（*小3μm）的分光光谱
- 可对应大型样品
式样
| 样品尺寸 | 200mm*200mm*7mm（厚度） |
| 测量膜厚范围 | 1nm-1mm |
| 测量波长范围 | 190nm~1600nm |
| 可测量层膜数 | *大50层 |
| 传感器 |
电子冷却型光电二极管配列 电子冷却型CCDarea image sensor |
测量项目
多层膜解析
光学常数解析(n：折射率k:消光系数)
**反射率
测量实例
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