500ºC 真空平板热压机 VHP-5T-4

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产品型号:VHP-5T-4
 牌:MTI
公司名称:深圳市科晶智达科技有限公司
  地:广东深圳
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产品简介

 VHP-5T-4是一款电动真空平板式热压机,针对于晶片的焊接或薄膜转移,其可处理*大样品尺寸为100mm x 100mm。仪器*高工作温度为500℃,在此温度下可对样品实加的*大压力为6T。

产品详细信息

性能指标和基本配置
主要参数

● 功率:2000W
● 电源: 208 - 240VAC, 50 Hz 单相

结构

● 两块135mm x135mm加热平台,采用高温合金钢制成,*高可承受温度为500℃
● 加热管嵌在加热平台的中间,以达到快速加热的效果
● 两个精密的温控器独立控制两块加热平台,可设置30段升降温程序
● 水冷管设计在加热平台的顶端,以达到快速冷却的效果
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液压泵

● 40T的电动液压机与真空腔体相连接
● 两个加热平台之间的可移动距离为60mm
● 自动压力控制并带有数显压力显示
● 压力控制精度为+/-0.5 Mpa
● 两个加热平台*高工作温度为500℃,加热平台顶端安装有冷却水管。当工作温度高于200℃时,请注入冷却水(>15L/min)

温控系统和压力显示

● 两个精密的温控系统可设置30段升降温程序,其控温精度为±5℃,分别独立控制两个加热平台。
● 温控系统采用PID方式进行温度调节,并带有过热和断偶保护。
● *高工作温度为500℃
● 建议升温速率:0-400℃≦4℃/min 400-500≦2.5℃/min
● 软件和PC接口安装在控温仪表上,可将温度程序和温度曲线导入到电脑中。
● 数字压力显示器(控制器)安装在真空腔体外,可设置其压力,当压力达到设置值时电机将自动停止。
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真空腔体

● 电动液压装置和加热台都安装在真空腔体内。
● 真空腔体采用304不锈钢制作,并焊接有加强筋(防止真空状态下腔体变形),真空度可以达到10E-3 torr。
● 内部腔体尺寸为:372mm(L) x 420mm(W) x 480mm(H)
● 真空腔体前端有一直径为150mm的观察窗口
● 一个真空计安装在真空腔体上,测量内部的真空度
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水冷(可选)

一台循环水冷机,用于冷却加热板,防止过热和更快冷却。需额外购买
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真空泵(可选)

● 机械泵的真空度可以达到<5×10E-2Torr(冷态下参考值)
● 真空标准模块

外形尺寸 800mm(L) x 550mm(W) x 1350mm(H)
使用注意事项

注意:气瓶上必须安装一个减压阀,以保证**操作。

认证 1CE认证
保修期 一年保修,终身技术支持。
点击查看售后服务承诺书。

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