GSL-2Z混气系统2路质子 GSL-2Z
产品简介
GSL-2Z可以用于控制一种或两种的气体流经真空密封的管式炉,这种气体控制系统安装在移动架上,管式炉可以放在GSL-2Z的上面,气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀。结合科晶集团的管式炉,它可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响。
产品详细信息
技术参数
功能模块 |
项目 |
参数 |
视频操作 | 点击查看 | |
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质量流量控制器 |
工作电压:185~245V/50Hz *大输出功率:18W 控制范围:
工作温度:5~45 ºC *大压力:3x106 Pa 准确度:±1% FS |
机械压力表 |
测量范围: -0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid) |
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针阀 |
316不锈钢 |
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混气罐 |
Φ80X120mm |
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截止阀 |
Φ1/4”316不锈钢针阀 |
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尺寸 |
600x600x650 mm |