GSL-2Z混气系统2路质子 GSL-2Z

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产品型号:GSL-2Z
 牌:MTI
公司名称:深圳市科晶智达科技有限公司
  地:广东深圳
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产品简介

GSL-2Z可以用于控制一种或两种的气体流经真空密封的管式炉,这种气体控制系统安装在移动架上,管式炉可以放在GSL-2Z的上面,气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀。结合科晶集团的管式炉,它可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响。

产品详细信息

技术参数

功能模块

项目

参数

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混气系统

 

质量流量控制器
质量流量控制器

工作电压:185~245V/50Hz

*大输出功率:18W

控制范围:   

  • 控制器1:1~199 SCCM
  • 控制器2:1~499 SCCM 

工作温度:5~45 ºC

*大压力:3x106 Pa

准确度:±1% FS  

机械压力表

测量范围:

-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)  

针阀

316不锈钢

混气罐

Φ80X120mm  

截止阀

Φ1/4”316不锈钢针阀

尺寸

600x600x650 mm

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