日本SIMCOION除静电离子风机5810 5810
产品简介
日本SIMCOION除静电离子风机5810 5810i电离鼓风机系统模型(离子系统制造)是一款高性能离子风机传感器,适用于严格的管理过程中的静电离子系统相结合的离子平衡+ /-1V。
产品详细信息
+/-1v 电离鼓风机系统模型 5810
5810i电离鼓风机系统模型(离子系统制造)是一款高性能离子风机传感器,适用于严格的管理过程中的静电离子系统相结合的离子平衡+ /-1V。
特征
· 在与外部传感器(NOVX 3150/3350/3360/7000)成绩(+ /-3V,在没有外部传感器)+ /-1V高精度离子平衡组合
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在洁净室应用在设计相应的清洁(FED STD 209E 10级)ISO CLASS4高度清洁功能的高5802i,5810i,5822i电离鼓风机模型设计
在洁净室应用在设计相应的清洁(FED STD 209E 10级)ISO CLASS4高度清洁功能的高5802i,5810i,5822i电离鼓风机模型设计
· 通过控制离子平衡的长期维护它自己的自动循环
· 风扇停止报警设备
· 可选的自动电极清洁机制
· 高可靠性和地方的支持被证明在万维网交付数量
· 可选不锈钢外壳
规范
输入电压
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100-240V AC + / -10%50/60HZ
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外观
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SUS或环氧/聚酯粉末涂料在铝
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离子生成方法
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直流稳态法
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电极
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8钛/风扇
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风量
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144cfm典型/风扇风扇转速=高
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放电时间
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<距离3秒。45厘米0.1千伏→100V。晶圆厂速度=高
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离子平衡
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<+ /-1V典型+ /-3V(外部传感器)(无外部传感器)
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维
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-32:155毫米x深96毫米x高813毫米长度
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-40:155毫米x深96毫米x高1016毫米长度
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-44:155毫米x深96毫米x高1118毫米长度
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重量
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4.6公斤全铝车身规格:-44
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SUS的6.9公斤体重规格:-44
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