薄膜杨氏模量无损测量设备

LAwave薄膜杨氏模量无损测量设备，技术源于德国Fraunhofer IWS研究所。利用激光脉冲在薄膜或材料表面激发起表面声波，表面声波在不同材料中的传播速度不同，可以通过检测表面声波的波速实现对薄膜或者材料硬度（杨氏模量/弹性模量）、密度和膜厚的测量。

LAwave薄膜杨氏模量无损测量设备

表面声波波速的色散关系由薄膜与衬底的弹性模量（杨氏模量）、密度和厚度决定。将声波探测器探测声波波速的色散关系与理论模型计算的色散关系对比，就可以得出薄膜的杨氏模量、密度和厚度等信息。LAwave也可以测量表面有微结构的薄膜和非均匀结构薄膜。

测量原理示意图

主要特性：

主要应用领域：

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