三维光学显微镜 ContourGT-I
产品简介
三维光学显微镜ContourGT-I 集三十年表面测量之大成,将**与工业界合作的经验集合到一台桌面型系统上,实现面向生产自动化需要,测量角度灵活,**的成像质量,和已经验证的可定标的稳定测试性能。三维光学显微镜ContourGT-I 可立刻测试各种样品,在桌面型系统上实现了以往从未有过的各种特性。
产品详细信息
三维光学显微镜ContourGT-I
全球**的扫描头倾斜自动样品台桌面型测量系统
三维光学显微镜ContourGT-I集三十年表面测量之大成,将**与工业界合作的经验集合到一台桌面型系统上,实现面向生产自动化需要,测量角度灵活,**的
成像质量,和已经验证的可定标的稳定测试性能。通过布鲁克独有的扫描头倾斜技术,该系统可解决倾斜样品台测试时引起的样品位置变化,从而轻松实现在一定角度内自动倾斜对表面特征进行测量。*新一代的Vision64™ 软件结合改进的样品台设计进一步提高了使用的方便性,更有效地提高用户的测试效率。三维光学显微镜ContourGT-I 可立刻测试各种样品,在桌面型系统上实现了以往从未有过的各种特性。
实现更快,更简便测量
自动光学倾斜测量头
全自动X,Y, Z样品台
自动光镜转塔,放大镜,和测试光选择
更灵活而稳定的防震
集成式充气式防震台
高稳定度,空间节省
更强大的测量和分析
简单明了,人性化的工作流程
实时自动优化测量
完整的数据分析软件包
可定制的分析报告
测量高效
布鲁克独有的倾斜测量头为用户提供了极大的灵活性,实现快速测量和观察。通过在在显微镜头中结合头部倾斜功能,布鲁克这一技术实现了将观察位置始终保持在焦平面处,为用户实际使用时带来了很大便利。
准确追踪和使用的简便性对于在不同表面上快速检测是至关重要的,这样在批量测试时速度也大大提高。
业界*方便灵活的测量方式
除上述优点外,三维光学显微镜ContourGT-I通过独有的设计直接在机台上集成防震系统,使其直接满足各种环境条件,包括工厂,实现迅速准确地测量。
这一经过严格测试的防震系统为用户提供不折不扣 的优化测试条件,从而得到重复性**的定量数据。
三维光学显微镜ContourGT-I为用户在科研或生产环境下提供各类测试要求,保证优异,可计量的可靠测试结果。
技术参数
北京科斯仪器有限公司
技术参数
*大扫描量程
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可达10mm
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垂直分辨率
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<0.01nm
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RMS 重复性 (PSI)
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0.01nm
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台阶高度准确性
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0.75%
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台阶高度重复性
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<0.1% 1 sigma repeatability**
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*大扫描速度标准相机
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73 μm/sec
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样品反射率
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0.05%-100%
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*大坡度–光滑面
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可达40°
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*大坡度–粗糙面
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Upto87°
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XY样品台
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150mm(6in.) 自动
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Z调焦范围和样品高度
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100mm(4in.)automated,(6in.)
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头部倾斜
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±5°自动
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光学测量模块
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双LED(**)照明,单筒物镜或转塔,单个放大镜或自动转动放大镜
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物镜
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同焦面:2.5x,5x,10x,20x,50x,115x
长工作距离:1x,1.5x,2x,10x
TTM:2x,5x,10x,20x
明场:5x,10x,20x,50x
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放大镜
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0.55x,0.75x,1x,1.5x,2x
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相机
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标配:640x480
高清(可选):1280x960
彩色(可选):640x480
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软件系统
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基于Windows 7 64位操作系统的 Vision64 分析软件
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可选软件包
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生产模式; Annular 分析; 分辨率提升模式高速自动对焦; 光学分析包; **成像模式; 厚膜测试模式; MatLab; PSS(图案化蓝宝石衬底)测试模式
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校准
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可溯源的台阶高度标准样
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占地
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450mm (W) x 533mm (D) x 745mm (H)
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*大可测样品重量
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十公斤
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系统总重
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六十公斤
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保修期
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18 个月
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* 在8um及以上的台阶高度标样上测得.
** VSI模式下对10μm台阶测试重复性指标. 平均标准偏差<10nm. 北京科斯仪器有限公司
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