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产品型号：德国英福康(INFICON)电容隔片真空计SKY® CDG025D 苏州大连北京真空计总代理

品牌：英福康INFICON

公司名称：昆山熙日机械设备有限公司

所在地：江苏昆山

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产品简介

德国英福康(INFICON)电容隔片真空计SKY® CDG025D  英福康真空计江苏总代理 昆山英福康INFICON真空计 上海南京英福康INFICON 概述

益处

全刻度范围从 100 毫托 … 1000 托 
电源接通后快速稳定 
暴露于大气压后快速恢复 
防腐陶瓷传感器 
**的长期信号稳定性 
温度补偿 
传感器防污染保护 
一键调零功能 
电源范围广

产品详细信息

德国英福康(INFICON)电容隔片真空计SKY® CDG025D 英福康真空计江苏总代理昆山英福康INFICON真空计上海南京英福康INFICON

概述

益处

全刻度范围从 100 毫托 … 1000 托
电源接通后快速稳定
暴露于大气压后快速恢复
防腐陶瓷传感器
**的长期信号稳定性
温度补偿
传感器防污染保护
一键调零功能
电源范围广

典型应用

用于刻蚀、CVD、PVD、ALD 的半导体生产设备
数据存储和显示制造设备
工业真空设备

常规高精度压力测量

规格

类型		1000 Torr / 1100 mbar	500 ... 10 Torr / mbar	1 Torr / mbar	0.25 Torr	0.1 Torr / mbar
精度 (1)	% of reading	0.2	0.2	0.2	0.25	0.5
温度效应
零点	percent FS/°C	0.005	0.005	0.015	0.02	0.02
满量程	% of reading / °C	0.01	0.01	0.01	0.03	0.03
分辨率	percent FS	0.003	0.003	0.003	0.003	0.003
压力，*大	kPa (absolute)	400	260	260	130	130
反应时间 (2)	ms	30	30	30	130	130
*低读数	percent FS	0.01	0.01	0.01	0.01	0.01
建议的*低读数	percent FS	0.05	0.05	0.05	0.05	0.05
建议的*低控制压力	percent FS	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5
温度
运行（环境）	°C	+5 … +50	+5 … +50	+5 … +50	+5 … +50	+5 … +50
在法兰处烘烤 (3)	°C	≤110	≤110	≤110	≤110	≤110
贮存	°C	–40 … +65	–40 … +65	–40 … +65	–40 … +65	–40 … +65
电源电压	V (dc)	+14 … +30	+14 … +30	+14 … +30	+14 … +30	+14 … +30
功耗	W	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1
输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10	0 … +10	0 … +10	0 … +10	0 … +10
保护等级		IP 30	IP 30	IP 30	IP 30	IP 30
标准
CE 合规		EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 认证		UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
电气连接		D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male
设定点 (4)
设定点数量		2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)
继电器触点		30	30	30	30	30
滞后	percent FS	1	1	1	1	1
暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70 ⁽⁵⁾, stainless steel (AISI 316L ⁽⁶⁾), AgCuTi hard solder, sealing glass	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70 ⁽⁵⁾, stainless steel (AISI 316L ⁽⁶⁾), AgCuTi hard solder, sealing glass	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70 ⁽⁵⁾, stainless steel (AISI 316L ⁽⁶⁾), AgCuTi hard solder, sealing glass	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70 ⁽⁵⁾, stainless steel (AISI 316L ⁽⁶⁾), AgCuTi hard solder, sealing glass	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70 ⁽⁵⁾, stainless steel (AISI 316L ⁽⁶⁾), AgCuTi hard solder, sealing glass
内部容积
1/2'' 管	cm³ (in.³)	3.6 (0.22)
DN 16 ISO KF	cm³ (in.³)	3.6 (0.22)
DN 16 CF-R	cm³ (in.³)	3.6 (0.22)
8 VCR®	cm³ (in.³)	3.6 (0.22)
重量
1/2'' 管	g
DN 16 ISO KF	g
DN 16 CF-R	g
8 VCR®	g