英国爱德华STP-iX455 涡轮分子泵 ISO100K PT640Z010 英国爱德华STP-iX455 涡轮分子泵 ISO100K PT640Z010
产品简介
STP 泵(带集成控制器) STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的**泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴,确保无污染的风险,同时将振动、噪声以及维护需求降至*低。STP 泵可与各种先进的控制器**连接,从而可用于多种应用和制程中。 英国爱德华STP-iX455 涡轮分子泵 ISO100K PT640Z010 英国爱德华STP-iX455 涡轮分子泵 ISO100K PT640Z010
产品详细信息
STP 泵(带集成控制器)
STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的**泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴,确保无污染的风险,同时将振动、噪声以及维护需求降至*低。STP 泵可与各种先进的控制器**连接,从而可用于多种应用和制程中。
功能和优势
- 紧凑型设计,包括完全集成的控制器
- **性自传感轴承系统
- 数字化 5 轴控制
- 与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
- 可以配置为运行腐蚀性制程
- 自动平衡系统 (ABS) 标准
- 自动减振 (AVR) 标准
- 列于 UL 中,具有 CE 标记,符合 SEMI® S2
技术数据
入口法兰 | ISO100K |
抽速 |
|
N2 | 300 ls-1 |
H2 | 300 ls-1 |
压缩比 |
|
N2 | >108 |
H2 | >1 x 104 |
极限压力 | 6.5 x 10-6 Pa |
*大工作压力 | 1.3 x 10-1 Pa |
允许的前级压力 | 67 Pa |
额定速度 | 55000 rpm |
启动时间 | <6 分钟 |
固定位置 | 任何方向 |
冷却方法 | 自然冷却(加热和气体泵送时进行水冷却或空气冷却) |
润滑油 | 不需要 |
前级泵 | 240 lmin-1 |
泄露磁通量 |
|
轴向方向 | <100 m/Gauss |
径向方向 | <100 m/Gauss |
环境温度范围 | 0 至 40 °C |
存储温度范围 | -25 至 55 °C |
重量 | 15 kg |