住友臭氧发生器进口
住友臭氧发生器进口应用:
半导体器件
Si/复合晶圆
FDP(LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED)
光罩
发光二极管
具体
溶解臭氧浓度
5 to 30ppm
臭氧化超纯水流量
1 to 60L/min
原料气
氧气、二氧化碳
功率
200-220VAC, 3-phase
住友臭氧发生器进口优势:
根据��需流量改变流量。(降低超纯水消耗量)
多室电源
采用喷射溶解法快速反应。
与臭氧监测仪(闭环控制)集成的稳定浓度
无氮臭氧水
运行成本低(功耗低,易损件数量少,放电单元寿命长)
高压耐受,长寿命放电单元
关闭期间免维护
苏公网安备 32028102000820号