企业信息
第9年
- 入驻时间： 2015-09-25
- 联系人：黄瑜平
- 电话：400-996-8079
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- Email：cdnishino_cg@163.com
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产品详情
简单介绍：
日本USHIO牛尾显影、蚀刻装置DeveloperEtching ED-1200四川成都优势供应 日本USHIO牛尾显影、蚀刻装置DeveloperEtching ED-1200四川成都优势供应
详情介绍：
腔室： SUS（氯乙烯）制
转速： 0～3,000rpm
基板尺寸： Φ1 Inch～Φ6 Inch
（150×150mm）
互锁： 真空吸附确认传感器
腔室外盖互锁
喷嘴移动越位限制器
药液压力推送： 使用内置泵
药液送出： 喷洒式送出
（摆动喷嘴式）
电源： AC 100V 4A
步骤数目： 96步
带有跳过、复制功能
尺寸：550W×440H（740H）×400D
（mm/阀门打开时）
编程模式 10种模式
重量 33kg
工艺工序（标准）显影液：1系统
冲洗：1系统
后冲洗：1系统
主要可选项：药液温度管理系统
（加压方式）
各种基板架
设置用工作台
使用药液： 酸性显影液
※规格可能会未经通知发生变更
转速： 0～3,000rpm
基板尺寸： Φ1 Inch～Φ6 Inch
（150×150mm）
互锁： 真空吸附确认传感器
腔室外盖互锁
喷嘴移动越位限制器
药液压力推送： 使用内置泵
药液送出： 喷洒式送出
（摆动喷嘴式）
电源： AC 100V 4A
步骤数目： 96步
带有跳过、复制功能
尺寸：550W×440H（740H）×400D
（mm/阀门打开时）
编程模式 10种模式
重量 33kg
工艺工序（标准）显影液：1系统
冲洗：1系统
后冲洗：1系统
主要可选项：药液温度管理系统
（加压方式）
各种基板架
设置用工作台
使用药液： 酸性显影液
※规格可能会未经通知发生变更
