各种超高性能光学薄膜严格工艺标准的闭环式流程技术制备体系

美国**指标MIL-E-12397B，可追溯到1954年，直到现在仍在采用。这一指标详述了一个在测试薄膜光学元件时所用到的浮石研磨材料构成的擦除器。这种擦除器在许多包括磨损测试的美国**指标中用到。一个重要的指标是MIL-C-675C，这一指标严格地应用于单层氟化镁减反膜，但也被作为宽波段光学薄膜的标准。尽管这是一个严格的**标准，但它经常用在光学薄膜中。

来自不同批次的研磨垫很难达到完全相同的研磨性能。利用可能包含或者不包含研磨颗粒的衬垫进行类似的测试，该方法被广泛使用。利用粗糙的布甚至是钢丝绒进行类似的测试也是常见的。

他们研究了许多不同的蒸发条件，包括入射角和基底温度。对于典型的在绿光波段具有增透作用的氟化镁薄膜，其耐磨性的常见值为2～5，这依赖于具体的淀积条件。当基底的温度在蒸发期间达到300℃，并且在蒸发前通过辉光放电清洗十分钟，则可获得*佳效果。如果温度降低到260℃或者只有5分钟的辉光放电清洗，则耐磨性会明显降低。他们还发现通过粗绒布抛光或沉积之后在空气中以400℃的温度进一步烘烤，则薄膜的耐磨性会相应的增强。获得的另一个重要结果是在薄膜淀积过程中蒸汽入射临界角的出现，大于临界角时耐磨性迅速下降。临界角随薄膜厚度而发生轻微的变化，但是当厚度超过300nm时，这一角度近似为40度，并厚度的减小而增大。

看来耐磨性测试从未在指标上达成共识。再生产中将其作为一种质量控制测试是非常有用的，特别是在质量降低到正常磨损测试水平以下之前，能够及时检测到质量的降低，这样在薄膜报废之前可以采用相应的补救措施。

采用德国薄膜制备工艺，形成了一套具有严格工艺标准的闭环式流程技术制备体系，能够制备各种超高性能光学薄膜，包括红外薄膜、增透膜，ARcoating, 激光薄膜、特种薄膜、紫外薄膜、x射线薄膜，应用领域涉及激光切割、激光焊接、激光美容、医用激光器、红外制导、面部识别、VR/AR应用,博物馆，低反射橱窗玻璃，画框等。 

随着激光技术在**、医学、工业和科研的广泛应用，研制激光防护装置以保证使用人员的**以及光电设备的高效利用显得十分必要。许多国家十分重视各种激光防护屏、防护器材以及激光防护滤光片的研究。特别是**应用中，为了确保光电探测系统的光敏元件不受激光损坏，以及解决大功率激光器系统中的各镀膜元件不受激光损伤的难题，研究如何提高光学薄膜损伤阈值显得尤为关键。这对于战略及战术武器的研制具有十分重要的意义。

采用德国薄膜制备工艺，形成了一套具有严格工艺标准的闭环式流程技术制备体系，能够制备各种超高性能光学薄膜，包括红外薄膜、增透膜，ARcoating, 激光薄膜、特种薄膜、紫外薄膜、x射线薄膜，应用领域涉及激光切割、激光焊接、激光美容、医用激光器、红外制导、面部识别、VR/AR应用,博物馆，低反射橱窗玻璃，画框等。