一种用于柔性薄膜太阳能电池激光划线的真空吸附装置的制作方法

本实用新型涉及的是一种用于柔性薄膜太阳能电池激光划线的真空吸附装置，特别是一种适用于铜铟镓硒柔性薄膜电池激光划刻的真空吸附装置。

背景技术：

在薄膜太阳能电池组件制作过程中，激光划线贯穿整个制作工艺过程，是电池组件形成内串联所必不可少的一部分工序，而且对于电池成品的良品率及效率起到关键作用。

随着激光技术的发展，与控制技术的结合应用使得激光划刻技术得到了快速的发展，激光划刻有精度高，速度快等优点。但之前激光划刻的材料大多是在刚性材料上，在薄膜类使用过程中，由于薄膜本身的卷曲褶皱，使得激光划刻机无法有效对焦及划刻，从而影响激光划线的精度和效果。

在激光划线的工艺过程中，真空吸附面板系统在激光划线起到关键的作用，对于薄膜卷曲，划刻聚焦，固定薄膜，薄膜膜面整平过程起到重要作用。目前激光划刻的吸附系统多为单片片装的吸附、即单吸附，为对两边卷曲情况无整平作用即在使用过程中只对中间平整区域有吸附作用，对两边卷曲部分无压制整平功能；这种情况下只会对薄膜中间区域有吸附力，不能做到吸附及平整整个大的膜面，无法有效对焦划刻。

采用德国薄膜制备工艺，形成了一套具有严格工艺标准的闭环式流程技术制备体系，能够制备各种超高性能光学薄膜，包括红外薄膜、增透膜，ARcoating, 激光薄膜、特种薄膜、紫外薄膜、x射线薄膜，应用领域涉及激光切割、激光焊接、激光美容、医用激光器、红外制导、面部识别、VR/AR应用,博物馆，低反射橱窗玻璃，画框等。