一种新型纳米银导电薄膜制备方法技术
本发明砖利技术是一种新型纳米银导电薄膜制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)取适量纳米银混合于正型的光阻中；(2)搅拌；(3)将步骤(2)搅拌好的混合物均匀涂覆于基板表面，形成湿膜；(4)对步骤(3)形成的湿膜层进行黄光曝光；(5)对步骤(4)形成的薄膜结构进行显影操作，将该薄膜结构图案化；(6)对步骤(5)形成的图案化的薄膜采用氩等离子体辐照；(7)在步骤(6)所得薄膜表面涂覆碳纳米管涂层。
Preparation method of novel nano silver conductive film
The present invention relates to a preparation method of nano silver conductive film, characterized by comprising the following steps: (1) apply photoresist silver nano hybrid Yu Zheng type; (2) mixing; (3) the step (2) well stirred mixture evenly coated on the surface of the substrate, forming a wet film; (4) to step (3) formation of the wet film is yellow light exposure; (5) to step (4) thin film structure formed by the developing operation, the structure of thin film patterning; (6) to step (5) thin film forming patterned with argon plasma irradiation; (7) in step (6 the carbon nanotube coating film) coated on the surface of the.
【技术实现步骤摘要】
一种新型纳米银导电薄膜制备方法
本砖利技术涉及纳米银导电薄膜
，尤其涉及一种新型纳米银导电薄膜制备方法。
技术介绍
目前生产厂家多采用黄光工艺制备纳米银导电薄膜，但是传统制备方法还需要经过蚀刻、剥膜等程序，操作起来相当复杂，且生产出来的纳米银导电薄膜导电性并不理想；另外，现有纳米银薄膜易氧化、易脱落。因此，需要在制备方法上做出改进。
技术实现思路
本砖利技术旨在解决现有技术的不足，而提供一种新型纳米银导电薄膜制备方法。本砖利技术为实现上述目的，采用以下技术方案：所述的一种新型纳米银导电薄膜制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)取适量纳米银混合于正型的光阻中；(2)搅拌；(3)将步骤(2)搅拌好的混合物均匀涂覆于基板表面，形成湿膜；(4)对步骤(3)形成的湿膜层进行黄光曝光；(5)对步骤(4)形成的薄膜结构进行显影操作，将该薄膜结构图案化；(6)对步骤(5)形成的图案化的薄膜采用氩等离子体辐照；(7)在步骤(6)所得薄膜表面涂覆碳纳米管涂层。优选地，步骤(6)所述的氩等离子体辐照薄膜的操作方式为：将步骤(5)所得薄膜置于磁控溅射真空镀膜设备中，将镀膜室内抽至5.5×10-4Pa，接着向镀膜室内通入纯氩气，调节镀膜室内真空度至6.2Pa,以射频功率3w及基体偏压55V的条件，使设备内形成氩等离子体，辐照纳米银薄膜7秒。优选地，所述基板为PET基板或者钢化玻璃基板。优选地，步骤(5)所得纳米银薄膜厚度在17nm至27nm之间。本砖利技术的有益效果是：本砖利技术在制取纳米银导电薄膜过程中省略了蚀刻、剥膜，操作程序得以简化，省时省力；*后加上氩等离子体对薄膜辐...
【技术保护点】
一种新型纳米银导电薄膜制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)取适量纳米银混合于正型的光阻中；(2)搅拌；(3)将步骤(2)搅拌好的混合物均匀涂覆于基板表面，形成湿膜；(4)对步骤(3)形成的湿膜层进行黄光曝光；(5)对步骤(4)形成的薄膜结构进行显影操作，将该薄膜结构图案化；(6)对步骤(5)形成的图案化的薄膜采用氩等离子体辐照；(7)在步骤(6)所得薄膜表面涂覆碳纳米管涂层。
【技术特征摘要】
1.一种新型纳米银导电薄膜制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)取适量纳米银混合于正型的光阻中；(2)搅拌；(3)将步骤(2)搅拌好的混合物均匀涂覆于基板表面，形成湿膜；(4)对步骤(3)形成的湿膜层进行黄光曝光；(5)对步骤(4)形成的薄膜结构进行显影操作，将该薄膜结构图案化；(6)对步骤(5)形成的图案化的薄膜采用氩等离子体辐照；(7)在步骤(6)所得薄膜表面涂覆碳纳米管涂层。2.根据权利要求1所述的一种新型纳米银导电薄膜制备方法，其特征在于，步骤(6)所述的氩等离子...
【砖利技术属性】
技术研发人员：潘中海，司荣美，刘彩风，
上海卷柔新技术光电有限公司是一家专业研发生产光学仪器及其零配件 的高科技企业，公司成立２００５年，专业的光电镀膜公司，公司产品主要涉及光学仪器及其零配件的研发和加工；光学透镜、反射镜、棱镜等光学镀膜产品的开发和生产，为全球客户提供上等的产品和服务。
采用德国薄膜制备工艺，形成了一套具有严格工艺标准的闭环式流程技术制备体系，能够制备各种超高性能光学薄膜，包括红外薄膜、增透膜，ARcoating, 激光薄膜、特种薄膜、紫外薄膜、x射线薄膜，应用领域涉及激光切割、激光焊接、激光美容、医用激光器、红外制导、面部识别、VR/AR应用,博物馆，低反射橱窗玻璃，画框等。
