进入九十年代,国际上MEMS技术有了长足的发展,硅片定向微机电加工精度和成品率不断提高,加上离子注入技术的发展使扩散硅压力传感器从技术上有了可靠保证,成本也有所下降。在许多应用领域里,扩散硅压力传感器还必须与充油蕊体配套,这又使它的售价大幅度上升。这些原因无疑在一定程度上促进了国内压力传感器市场的兴盛。
在国外,压阻式陶瓷压力传感器以其高可靠性,抗腐蚀、优良的线性精度和低成本开始逐渐替代扩散硅压力传感器,这也将是必然的发展趋势。国家科技部马颂德副部长在2005年底视察无锡时,对此作了充分肯定。
瑞士Metallux公司,此外德国WIKA公司和韩国Greensensor公司也生产陶瓷压力传感器,他们都看好中国市场。在具体的传感器设计理念双方的立场有不同的地方,这是正常现象,因为理论始终有待于实践提升。
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