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产品资料

V10FC-L差压式低量程MFC/MFM

V10FC-L差压式低量程MFC/MFM
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:V10FC-L差压式低量程MFC/MFM
  • 产品型号:V10FC-L
  • 产品展商:加拿大塞尔瑟斯SAILSORS
  • 产品文档:无相关文档
简单介绍
V10FC-L差压式低量程MFC/MFM准确度1%,量程可在100:1范围内按键设定,无需标定 瞬时和累计流量、压力、温度可同时显示和输出 无需预热,测量时无响应滞后 内置30种气体转换系数,无比热容附加误差,不影响精度 自动累计,分段累计功能
产品描述

V10FC-L差压式低量程MFC/MFM产品特点

普通低压型,适于1Mpa或3Mpa以下非腐蚀性清洁气体

无热漂移,可以忽略的温移和时漂,长期稳定性0.1%F.S/年

准确度1%,量程可在100:1范围内按键设定,无需标定

瞬时和累计流量、压力、温度可同时显示和输出

无需预热,测量时无响应滞后

内置30种气体转换系数,无比热容附加误差,不影响精度

自动累计,分段累计功能

V10FC-L采用无热漂移,无响应滞后的差压质量测量原理,可以同时显示和输出;暧昧流量、累计流量、压力、温度等。当需要控制功能时,还可以加装电磁比例调节阀和内置PID调节功能。

与热式流量计不同,当使用气体转换系数时,V10FC-L没有附加的“比热容”误差。所以,即使测量气体与出厂时的标定气体不同,也不会影响测量精度。

通过选配显示器和键盘可以使V10FC具有手操器/显示仪/积算仪的全部功能。通过面板操作,可以完成以下内容:气体选择、单位选择、量程设定、报警点设定、阀门状态、自动校准等。

产品应用

真空    镀膜     太阳能     半导体     石油石化    煤炭冶金     制气配气    环保     各种分析仪器

技术参数

技术指标 V10FC-LC质量流量控制器 V10FC-LM质量流量计
量程范围  5SCCM~5SLM 
测控范围 控制器阀控范围50:1 流量计量程比100:1
准 确 度 ±1.0%F.S
      压力:0.5%F.S          温度:±1℃
线    性 ±0.5%F.S
重复精度 ±0.2%F.S
响应时间 100ms 10ms
数 字 量 RS232/485,MODBUS协议
模 拟 量 0~5V、4~20mA、1~5V
供   电 ±15VDC,24VDC
工作温度 0~50℃
工作压力 工作压差:0.05MPa~0.5MPa 工作压差:<30KPa
*大耐压 1MPa、3MPa
电气连接 DB15孔
漏    率 1×10-9SCCSHe
温度系数 ±0.015%F.S/℃
底座材质 316L
密封材料 氟橡胶,氯丁橡胶,丁晴橡胶
接    头 Φ3,Φ6,1/8",1/4"

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