V10FC-L差压式低量程MFC/MFM产品特点
普通低压型,适于1Mpa或3Mpa以下非腐蚀性清洁气体
无热漂移,可以忽略的温移和时漂,长期稳定性0.1%F.S/年
准确度1%,量程可在100:1范围内按键设定,无需标定
瞬时和累计流量、压力、温度可同时显示和输出
无需预热,测量时无响应滞后
内置30种气体转换系数,无比热容附加误差,不影响精度
自动累计,分段累计功能
V10FC-L采用无热漂移,无响应滞后的差压质量测量原理,可以同时显示和输出;暧昧流量、累计流量、压力、温度等。当需要控制功能时,还可以加装电磁比例调节阀和内置PID调节功能。
与热式流量计不同,当使用气体转换系数时,V10FC-L没有附加的“比热容”误差。所以,即使测量气体与出厂时的标定气体不同,也不会影响测量精度。
通过选配显示器和键盘可以使V10FC具有手操器/显示仪/积算仪的全部功能。通过面板操作,可以完成以下内容:气体选择、单位选择、量程设定、报警点设定、阀门状态、自动校准等。
产品应用
真空 镀膜 太阳能 半导体 石油石化 煤炭冶金 制气配气 环保 各种分析仪器
技术参数
技术指标 V10FC-LC质量流量控制器 V10FC-LM质量流量计 量程范围 5SCCM~5SLM 测控范围 控制器阀控范围50:1 流量计量程比100:1 准 确 度 ±1.0%F.S 压力:0.5%F.S 温度:±1℃ 线 性 ±0.5%F.S 重复精度 ±0.2%F.S 响应时间 100ms 10ms 数 字 量 RS232/485,MODBUS协议 模 拟 量 0~5V、4~20mA、1~5V 供 电 ±15VDC,24VDC 工作温度 0~50℃ 工作压力 工作压差:0.05MPa~0.5MPa 工作压差:<30KPa *大耐压 1MPa、3MPa 电气连接 DB15孔 漏 率 1×10-9SCCSHe 温度系数 ±0.015%F.S/℃ 底座材质 316L 密封材料 氟橡胶,氯丁橡胶,丁晴橡胶 接 头 Φ3,Φ6,1/8",1/4"
苏公网安备 32020202000206号