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产品资料

标准粒子发生装置

标准粒子发生装置
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:标准粒子发生装置
  • 产品型号:BSD-1
  • 产品展商:其它品牌
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简单介绍
BSD-1标准粒子发生装置各粒径的标准粒子,如0.3um ; 0.5um ; 1um 等等。 可产生脱离水(DI水)的纯水系统或类似装置
产品描述

BSD-1标准粒子发生装置
气体尘埃粒子计数器的校正程序
一. 校正所需设备
1. 100级洁净房或洁净台
2. 一台用于作对比,尚在校正期内的尘埃粒子计数器,如Metone3400
3. 各粒径的标准粒子,如0.3um ; 0.5um ; 1um 等等
4. 标准粒子气体产生器,如Model 255
5. 可产生脱离水(DI水)的纯水系统或类似装置
6. 其它普通电器,如220V电源插座,万用表等等
二. 校正的基本原理
   标准粒子(如0.301um)通过255粒子产生器由液状雾化成气体,并由其内置泵通过0.2um的过滤器后的干燥气体进入取样管路,这时,将两台相同尘埃粒子计数器同时或先后对取样管进行抽样测试,并比校0.3um粒径的测试值。如果其平均值在20%以内,认为合格。如果不同型号的粒子计数器,一定要弄清楚其流速,取样时间,取样次数等参数,并且,还要明白怎样理解其测试结果。
三. 校正的基本步骤:
   现假设对一台常见的Metone227B作校正
1. 首先,要清楚Metone3413和Metone227B有何差别,其测试原理一样,但Metone3413流速为1CFM(立方英尺/分钟),而Metone227B则为0.1CFM。
2. 首先,请将洁净台开机,工作半小时,其间内也打开Metone227B和Metone3413,让其预热半小时。
3. 准备好255的取样器管,并搭接好其所有气体管路。
4. 将配好的标准液(如0.301um)放入脱原子瓶中,注意勿让液体超过喷嘴。
5. 设置Metone3413和Metone227B的基本参数
(1) 取样时间都设置为00:01:00
(2) 取样次数都设置03
(3) 取样模式都设置为Auto
(4) 间隔时间都设置为00:00:05
(5) 读数模式都设置为Cumulative
   注:以上设置相同,因其流速有10倍差,故Metone3413测试结果会是Metone227B的10倍。
6. 此时,打开255电源,调节脱原子气体阀和干燥气体阀,在调至喷嘴阀处呈气雾出现,干燥气体流速计约60SCFH时后,保持其工作状态。
7. 此时,让Metone227B和Metone3413同时工作,看其三次的平均结果,若在20%以内,视为合格。
8. 拆下脱原子瓶,重新滴入其它标准粒子,重复该测试。
9. 以上校正只是对比校正,尚可用万用表对其基本参数测量,用示波器对其信号捕捉等来辅助调校。
 

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