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靶材自动探伤是什么？

靶材自动探伤由溅射材料和靶托通过钎焊层连接。钎焊质量影响靶材界面层导热性能,甚至导致脱焊或融化。靶材的突然脱落会造成设备的严重损坏,导致重大经济损失。因此,靶材钎焊层必须具备良好的导电性和导热性, 同时还必须具备足够的强度。

靶材自动探伤专用检测设备适用于靶材粘接检测和内部缺陷检测，可用于金属靶和陶瓷靶、平靶和管状靶。超声探伤原理是利用超声波经水耦合进入靶材板后，入射传播，当板中有缺陷会引起超声反射，若无缺陷，超声波到达靶材下表面后由于与粘接材料（或空气夹层）的声阻抗不匹配而导致回波幅度不同，超声仪器将超声反射信号经放大信号处理后实时报警，实现粘接和缺陷的自动检测。

考虑到靶材粘接检测的特殊性以及靶材材料本身的声特性，系统采用聚焦超声纵波脉冲反射液浸法C扫描技术进行检测，实现对粘接率的计算和内部缺陷的探伤。对于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷可进行有效的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。

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