2011年10月26日~10月29日由中国有色金属工业标准委员会贵金属标委会主持，在广东省清远市召开了《溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法》审定会。与会专家以严谨、科学的态度对标准进行了认真审查、讨论，同意修改后行程终稿上报审批。
本标准规定了溅射用靶材-背板结合质量超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术的一般方法。内容包括一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等。
本标准适用于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。
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