扫描超声显微镜
日立FineSAT扫描超声波显微镜主要用来检测、解析靶材和绑定焊接层内的微小缺陷，如：材料内部的晶格结构，杂质颗粒、夹杂物、沉淀物、内部裂纹、分层缺陷、空洞、气泡、空隙、弱结合等；设备也可用于IC内部不同位置的脱层、气洞、裂痕及粘着状况，如：封装裂缝、脱层、材料晶粒裂缝、晶粒附着**、焊线**等。设备具有3D成像，0.5um高度分辨率，1000mm/秒高速度，A/B/C扫描和透射式扫描。
聚焦超声波清洗机