超纯水的特性:超纯水(high-purity water,ultra-high purity water,highly purified water)是水分子纯度极高的水,通俗点讲就是只含有水分子(H2O),不含有其它任何杂质。主要体现2方面:一是具有导电性能的离子基本不含,其水质电阻值为18.2 MΩ•cm @25℃;另一方面是水体中其它不导电的杂质几乎不含,其中的杂质的含量小于0.01mg/L(TOC:<20ppb 有机物:<0.01AU@254nm 残留固体:<200ppb )。
水的电阻率(衡量水中导电物质的多少)为18.248兆殴每厘米在水温25℃时,理论上可以算作超纯水。国家颁布的**实验室用水标准,就是在25℃时 水的电阻率大于10 MΩ•cm,电子级**用水标准是18.2 MΩ•cm,但水温不同超纯水的电阻率测出的数值是不同的。一般测量电阻率的电极都带有测温探头,用作温度补偿。而这样测出的电阻率叫比电阻率。电阻率只是衡量超纯水的一个指标,还有些有机物的指标(不导电)是不能用电阻率衡量的,如TOC、**、内** ,超纯水的具体技术参数要求要依据用户使用的环境用途来确定。
目前常用制取工艺手段:预处理+二级RO+UV+EDI+抛光+微孔
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