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SUNX传感器的分类

SUNX传感器的分类
在外界因素的作用下，所有材料都会作出相应的、具有特征性的反应。从所应用的材料观点出发可将SUNX传感器分成下列几类：
现代SUNX传感器制造业的进展取决于用于SUNX传感器技术的新材料和敏感元件的开发强度。SUNX传感器开发的基本趋势是和半导体以及介质材料的应用密切关联的。表1.2中给出了一些可用于SUNX传感器技术的、能够转换能量形式的材料。
按照其制造工艺，可以将SUNX传感器区分为：
集成传感器薄膜SUNX传感器厚膜SUNX传感器陶瓷SUNX传感器
集成传感器是用标准的生产硅基半导体集成电路的工艺技术制造的。通常还将用于初步处理被测信号的部分电路也集成在同一芯片上。
薄膜传感器则是通过沉积在介质衬底(基板)上的，相应敏感材料的薄膜形成的。使用混合工艺时，同样可将部分电路制造在此基板上。
厚膜传感器是利用相应材料的浆料，涂覆在陶瓷基片上制成的，基片通常是Al2O3制成的，然后进行热处理，使厚膜成形。
陶瓷传感器采用标准的陶瓷工艺或其某种变种工艺(溶胶-凝胶等)生产。
完成适当的预备性操作之后，已成形的元件在高温中进行烧结。厚膜和陶瓷SUNX传感器这二种工艺之间有许多共同特性，在某些方面，可以认为厚膜工艺是陶瓷工艺的一种变型。

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