英寸； 4. 测量范围可从 0.001~1000000 ohm/sq； 5. RM3附有100 ohm 的电阻器可供校验与精度测试； 6. RM3 有自我校正功能； 7. 备有 Rs-232、USB 与软件可供输出至电脑； 8. 本机型不含针头，需另,1. Probe 下针高度可随 SAMPLE的厚薄调整。可量 WAFER 与 INGOT； 2. 压杆设计有测量切换开关，避免下针时突然的电流影响阻值的正确性； 3. SAMPLE测量纵深可达10