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一般过滤设备

PLS型化学空气过滤器为使用ArF准分子激光器的曝光设备开发的高性能化学过滤器高去除率，长寿命有机物去除过滤器高效率地去除**基硅烷醇（TMS）等低沸点有机物质低压力损失[与我们相同尺寸的传统产品相比大约为1/2]