的小型和性能,可安装在压强很高的真空室内.■ HexBlock 取样系统的*佳性能.■ 内置CDG, 用于过程压强监测和真空联锁.■ 备有可选的校准参考源, 用于调谐和气体参,CPM INFICON四极质谱分析仪CPM 的特点■ 用于监测复杂过程的四极气体分析系统.■ 允许7 天24 小时连续监测,达到*大的产额和产量, 从而将成本降至*低.■ 足够