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扫描电子显微镜 Apollo 300技术参数1.电子枪: 高精度预对中三级透,由安装了高亮度肖特基电子光源的热场电子枪和两级磁透组成 2.*大束流: 典型30nA (在减小分辨率的情况下,可达100nA) 3.放大倍率: <3x to>900,000x 4.加速电压: 0.1到30KV

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