半导体特气检漏仪 703

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产品型号:703
 牌:
公司名称:常州金坛泰纳仪器厂
  地:江苏金坛
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产品简介

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产品详细信息

型号:XP-703D 

  (自动吸引式) 

  半导体特气检漏仪  

特点:

    ¬       *适合于检测半导体特气的微量泄漏。

    ¬       采用声光报警。


  规格

      

XP-703D

检测对象气体

半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)

检测原理

**型半导体式

采样方式

自动吸引式

可检测浓度

(单位:ppm)

砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氢气

AsH3    PH3       B2H6      SiH4       H2

0.2     0.3     0.1        0.5        1.0

检测表示

蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁

应答速度

10秒以内

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