内孔的测量和需求孔的内部测量比工件外部测量要求更苛刻。不仅要满足测量严格公差的要求，而且还必须要将那些对于测量不确定度有着直接影响的测量部件设计成可进入孔内进行检测的结构。
三线接触测量的优点TESA IMICRO，TRIOMATIC，TRIO-BOR 和ETALON INTALOMETER是自定中心和自校正的内孔尺寸测量工具，测量可靠。

单个内径千分尺能代替数以百计圆柱塞规不像塞规仅能检查一种公差尺寸，一个内径千分尺能测量许多直径。使用不同型号的内径千分尺能够可靠地完成通孔、盲孔、以及短台阶孔的测量.