精密温控、高温冷却、各种信号输入输出。冷却能力系列之中非常强，有风冷式/水冷式两种类型
本品具有系列中非常强冷却能力，适合在高速运转过程中对冷却能力和温度稳定性有很高要求的加工环节中使用。
主要用途
半导体制造装置的温度管理
主要特点
温度范围广，温控精度±0.5℃
温度控制范围-10℃～+70℃，制冷器连续运转、通过控制加热器进行温度调节，实现高精度、高稳定性的恒温水循环。
齐全的信号系统和安全装置
可远程温度设定和温度监视，齐全的安全装置可实现操作信号的输出。
高温冷却功能
在使用温度范围内，由于冷冻机的连续运转，可实现高温冷却功能。
所谓高温冷却：例如冷却对象需要温度维持在+80℃，但回流的循环液温高于+80℃，此时就需要通过本机进行高温冷却使循环液温降到+80℃在流入冷却对象。
技术参数
(*1)在+7℃以下使用本机时，请务必使用防冻液（具体类型请咨询我司）。
(*2)使用热载体、使用环境温度、热负荷循环配管距离等因素可能会影响温度性能的维持。
(*3)数据为使用清水做为循环液且液温在+10℃、装置单机时的冷却能力。根据所搭载的泵的不同，冷却能力也会有变动。另外当使用环境温度达到+30℃时冷却能力会下降。
(*4)外部温度传感器需另购，敬请注意（φ4x250mm）。
(*5)本机为非封闭式构造，因设定温度、热载体种类不同，会发生使用液体会有蒸发、减少现象。
尺寸图
▲关于保修：产品的保修政策以我司正式保修文件条款为准。