真空雰囲気下での加熱処理を目的とし、耐熱圧力容器内にシーズヒータを3ゾーン構成で配置した内熱式タイプです。主な用途としてポリイミドのハードベーク、プラスチックパッケージの脱脂、ウェーハの乾燥/ベークなどがあります。またマッフル外周のエアジャケットにフレッシュエアーを導入、降温時間の短縮が可能です。
(注1) マッフル内制御点での値を示す。
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