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Class6
Particle counts
≥0.1µm-1,000,000
≥0.5µm-35200
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Class M 4.5
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Class1000
Particle counts
≥0.5µm-1,000
|
40%ceining coverage
0.1µm-34，500
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HEPA filters providing efficiency of99.99995%
|
30to 50 fpm (0.15to0.25m/sec)
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180to 300 ach
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Class7
Particle counts
≥0.1µm-1,000
≥0.5µm-35
|
Class M 5.5
|
Class10,000
Particle counts
≥0.1µm-345,000
≥0.5µm-10,000
|
30%ceining coverage
|
HEPA filters providing efficiency of 99.99995% at0.3to0.5µm
|
20to 30 fpm (0.10to0.15m/sec)
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60to 100 ach
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Class8
Particle counts
≥0.5µm-3,520,000
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Class M 6.5
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Class100,000
Particle counts
≥0.1µm-3,450,000
≥0.5µm-100,000
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15%ceining coverage
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HEPA filters providing efficiency of 99.99995% at0.12µm
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15to 20 fpm (0.08to0.10m/sec)
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36to 90 ach
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Note:Air changes developed for cleanroom heights9,to16,
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项目影响洁净室设计、建造成本的十五个因素（二）
工具动力供应与生产设备的有效连接；维修区域、管槽、走廊、暖通、动力专业设备间和动力站的位置等问题的合理安排，这些是洁净室设计经济性的主要方面。在项目刚刚开始时就应该考虑到这些因素，并通过由建筑师、工程师、承包商和业主组成的进行评估。这样才能确保所有参与者十分了解用户的生产目标和要求，这点是一个设计施工项目在经济性方面取得成功的关键。
简单的说，业主对于所需洁净室的类型特征进行恰当的选择，会对*终的花费产生至关重要的影响。这没有“数字猜谜游戏”式的解决方案。业主、工程师、建筑师、承包商都必须了解规范或ISO标准中那些不必要的变量/因素对于花费的影响，因此需要评估每一个生产细节和生产要求。在开始任何的设计之前，这个团队必须要一起工作以确定目标、需求和期望。
个案研究
为分析洁净室施工花费与十五个关键设计因素的关系，我们将美国二十个洁净室设施的数据编辑如下：
在1983年至2003年间，建立的十个微电子生产工厂，洁净室的洁净度等级是ISO5级和ISO 6级
在1983年至1996年间，建立的四个制药和生物制药工厂，洁净室的洁净度等级是ISO 5级和ISO 7级。
在1994年至2003年间，建立瓣十个微电子生产工厂，洁净室的洁净度等级分别是ISO3级、ISO 5级、ISO7级和ISO8级。
在1994至2004年前，建立的八个生物制药工厂，洁净室的洁净度等级分别是ISO4级、ISO5级、ISO7级和ISO8级。
通过对暖通、动力专业（HVAC，工艺管道）工程费用数据的推断，综合考虑地点、劳务费用和通货膨胀等因素，进行调整，从而得到一个统一的关于洁净室暖通、动力专业工程费用分类的简单描述，该分类包括ISO3级、ISO5级、ISO7级和ISO8级每一类的洁净室。
本次分析所选择的洁净室，设施面积相差不多，都在40,000到60，000平方英尺之间，并且都有30%到40%的生产窨被不同等级的洁净室、洁净室走廊和气闸占用。使用相同的方法计算暖通、动力专业设备的生产费用，从而得到花费的详细统计如表2所示。这种方法统一了暖通、动力专业工程费用，而没有区分微电子洁净室、制药和生物制药洁净室（计算数据如表3、表4、表5、表6和表7所示）。
基于以上这些表格，以ISO5级洁净室暖、动力专业工程花费为基线绘制了“关键价值因素”图表（图1）；从而得到花费因素价值数据，如表8所示。这些经验变量可以用百分数的形式乘以每平方英尺的工程费用来计算不同类型洁净室的花费，也能在项目初期帮助进行工程费用评估。
成功的十五个方法
利用以下十五个成本因素变量，提供可供选择的设计方案动态数据库，对基本的洁净室设计和标准进行改进，尽量满足工厂的需求，通过这些方法我们应能够减少项目的工程费用。ATI的建筑师和工程师（Danville,Calif.;www.Atlae.com）应用这些方法成功地为生物制药学、微电子学和食品加工行业的洁净室进行设计，并实施了施工工程。
影响洁净室设计、建造成本的十五个因素（二）
影响洁净室设计、建造成本的十五个因素（二）
影响洁净室设计、建造成本的十五个因素（二）
影响洁净室设计、建造成本的十五个因素（二）