荧光X-Ray膜厚仪详细介绍
壹. 荧光X线控制部:
1. X 线源:油浸式小型微小焦点X线管. 50KV管电压，可变管电压。
2. 照射方式：由上而下垂直照射方式。
3. 检出器：比例计数管。
4. 滤波器：采用 Co 和 Ni 双滤波器及数字式滤波器，可单一或同时使用。
5. 准直仪：Collimator 采用五种孔径一体成型式，可自动切换使用。
0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0 ψ㎜.
( 选购) 0.05 ×0.5, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5 ψ㎜.
( 选购) 0.05, 0.1, 0.2, 0.3, 0.5 ψ㎜.
6. 样品观测系统：彩色CCD及高画质显示屏。
7. 多能谱分析器：使用256高频分析器，光谱自动分析，在执行测量及运算时，非常快速。
荧光X-Ray膜厚仪貳. 计算机操作部:
8. 计算机系统：(※仅供参考)
w IBM 兼容中文个人计算机.
w CPU ：Intel Celeron 900 MHz.
w RAM ：128 MB.
w Floppy Disk ：3.5 ×1， 40倍速 CD-ROM ×1.
w Hard Disk ：20 GB.
w 17" 高画质显示屏.
9. 打印机：日本EPSON彩色喷墨式打印机。
10. 本机型(EX-3000系列)之操作系统采中文窗口(Windows98)对话式操作，非常简便。
荧光X-Ray膜厚仪參. 特性说明:
11. 测量项目：
w 单层膜厚测定.
w 2 层膜厚测定.
w 3 层膜厚测定.
w 合金膜厚成份比同时测定.
w 化学镍膜厚测定.
w 压铸锌底材上镀铜、镍二层膜厚同时测定.
w 元素的光谱峰值测定分析.
12. 测量材质：原子序22(Ti) ~ 82(Pb)为激发法测量,原子序22以下为吸收法测量。
13. 测量范围：原子序22 ~ 24 ， 约 0.2 ~ 20 um.
原子序25 ~ 40 ， 约 0.1 ~ 30 um.
原子序41 ~ 51 ， 约 0.2 ~ 70 um.
原子序52 ~ 82 ， 约 0.05~ 10 um.
14. 测量机能：
w 同一点重复测定机能
w 输出形式设定.
w 能谱测定.
15. 测量条件或膜厚规格可以保存.
当要测量相同图样轨迹的制品时，若测量条件已储存时，可以马上进行测量。
*大检量线档案数：可登录储存100组档案。
*大测量档案数 ：可登录储存300组档案。
16. 档案记录：
w 每一个批号可储存无限个测量数据.(因各型计算机之容量大小而定)
w 每一个测量档案可输入及储存公司名称.
w 每个批号可���独执行统计处理.
w 每个测量档案可输入不同的检量线(校正曲线).
w 每个测量档案可输入统计处理方式.
17. 数据处理：
w 统计值表示：平均值、标准偏差、*大值、*小值、上下限值范围、Cp、Cpk。
w X-R 管制图.
w 柱状图：有自动设定及自己任意设定二种方式。
w 测量资料轮廓剖面分布图。
w 测量资料三次元轮廓剖面分布图。
w 可彩色打印观物显示屏上所观测之图像。
18. 底材补正：当样品与标准片的底材不同时，可作底材补正。
19. 观物显示屏：十字刻度线的高分辨率彩色观物显示屏。
荧光X-Ray膜厚仪肆.**装置.
20. 本机俱有自动**断电系统功能.
21. 由锁匙开关来控制X 线输出，以防止外人任意操作.
伍.其它机能.
22. 密码辨识功能.
23. 装置维护调整.
陆.设备尺寸：
24. 测定部： 外观尺寸：602(W) ×463(D) ×732(H) ㎜.
重 量： 约 55 Kg.
25. 操作部：(※仅供参考)
w 计算机主机尺寸：180(W) ×420(D) ×360(H) ㎜.
重量：约 8.8 Kg.
w 显示屏尺寸：360(W) ×420(D) ×370(H) ㎜.
重量：约16.5 Kg.
w 打印机尺寸：500(W) ×250(D) ×300(H) ㎜.
重量：约 4.3 Kg.
26. 测量样品限制.
样品限制高度： 150㎜
样品限制重量： 3 kg.
柒. X-Y-Z轴可移动式测量台.
27. 测量台尺寸及移动量.
测量台尺寸 170 ×110 mm，
移动量 (X-Y-Z轴) 70 ×70 ×50 ㎜.
捌. 使用电源.
28. 电压: AC100V ±10V ； 50/60Hz
( 选购) AC110V， AC220V.
29. 测定主机容量: 700VA.
30. 操作主机容量: 300VA.
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