不管是半导体厂商、半导体设备供应商，还是洁净室的建筑商或运营商，都不得不去推敲将要实施的所谓“绿色思想”的含义。这是欧盟为减少半导体行业对环境的**影响所实施的计划的一部分，自2006年7月1日起开始生效。很快就要影响到洁净室及其内部的工艺设备的环境变革。 欧盟限制使用有害物质条例(RoHS)规定制造厂商对其生产过程中或产品中含有的铅、镉、汞、含溴阻燃剂等有害物质进行回收。电器及其他电子产品废弃物（WEEE）也将通过制订收集、处理和循环利用等相关的规定，以避免原来采取的简单掩埋的处理方式。 James Beasley，制造业研究联盟SEMATECH (www.sematech.org) 的**环境、健康和可靠计划经理预测说：“我们济初的估计，对洁净室济大的影响在于建筑材料，如涂料，目前使用的材料中有些可能会被限制，甚至会被禁止使用。” 在RoHS要求下，生产含有危害物质建筑材料的厂商可能要面临比较困苦的选择。例如，塑料供应商就必须要找到可以替代溴化物的阻燃剂。不过，就总体上来看，Beasley相信，材料供应商们对新的要求已经做好充分准备。 半导体工厂中使用的工艺设备大部分属于大型工业设备，不能采取掩埋法一埋了之，这种情况也不适用于WEEE的规范。但这绝不意味着这些工艺设备可以不进行处理。半导体产业协会SEMI ( www.semi.org )的EHS分会的**理事Aimee Bordeaux指出，一件工艺设备有几千个部件组成，其中很多都有可能含有具有危害性元素——如铅——而那些部件的供应商则需要做出更多的努力，以期能达到RoHS和WEEE的要求。“如果某些危害性较大的元素，如铅出现了泄露，那么你必须要再次进行处理。”Bordeaux警告说。 半导体厂商也可以比RoHS规定的时间更早达到目标。举个例子，AMD (www.amd.com)在今年七月份就宣布他们已经开始提供含
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