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机器放电模式介绍
机器放电模式(Machine Model, MM)的ESD是指机器(例如机械手臂)本身累积了静电，当此机器去碰触到IC时，该静电便经由IC的pin放电。此机器放电模式的工业测试标准为 EIAJ-IC-121 method20，其等效电路图如下图所示。
 

 

Test Standard: EIAJ-IC-121 Method 20
 


CLASS
STRESSLEVELS
M0
0 to<50V
M1
50 to<100V
M2
100 to<200V
M3
200 to<400V
M4
400 to<800V
M5
 
>800V

图1 机器放电模式(MM)的工业标准测试等效电路及其耐压能力等级分类
 
因为大多数机器都是用金属制造的，其机器放电模式的等效电阻为0Ω，但其等效电容定为200pF。由于机器放电模式的等效电阻为0，故其放电的过程更短，在几毫微秒到几十毫微秒之内会有数安培的瞬间放电电流产生。有关2-KVHBM与200-V MM的放电电流比较，见图2。

 

图2 人体放电模式(2-KV)与机器放电模式(200V) 放电电流的比较图
 
虽然HBM的电压2KV比MM的电压200V来得大，但是200-V MM的放电电流却比2-KVHBM的放电电流来得大很多，因此机器放电模式对IC的破坏力更大。在图2.2-2中，该200-VMM的放电电流波形有上下振动(Ring)的情形，是因为测试机台导线的杂散等效电感与电容互相耦合而引起的。
 
另外在国际电子工业标准(EIA/JEDEC STANDARD) 中，亦对此机器放电模式订定测试规范(EIA/JESD22-A115-A)，详细情形请参阅该工业标准。
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