三轴在机械上相互独立，运动互不干扰，从而确保了系统的高稳定性。 Y 轴运动采用中央驱动，避免了 Y 向运动中的偏摆，提高了 Y 轴的运动精度。 Y 轴导轨采用燕尾槽定位方式，以保证运动时的*大刚性及精度。 三轴导轨均采用上等花岗岩，使三轴具有相同的温度特性，因而具有良好的温度稳定性、抗实效变形能力，钢性好、动态几何误差变形*小。 三轴导轨均采用自洁式预载荷高精度空气轴承，运动 更平稳。 光栅的布置接近被测工件，遵循了阿贝误差原理，减小了系统误差。 驱动系统采用进口高性能直流伺服电机、滚珠丝杠加同步带传动，确保传动更快捷、更精准、运动性能更佳。 Z 轴采用气缸平衡装置，极大的提高了 Z 轴的定位精度及稳定性。 控制系统采用德国高集成度 SB-08 专用数控系统，从而大大的提高系统的性能、可靠性和抗干扰能力。 软件采用具有独立知识产权的、功能强大的 AC-DMIS 测量软件包，其完善的测量功能和联机功能，为用户提供了**的测量解决方案。 此精度依照 ISO 10360-2 标准及 JJF 1064-2000标准。 此表机型技术参数为标准配置，可满足客户非标机型的特殊技术及配置要求。 所有技术指标和规格可能有所变动，不另行通知 技术参数： 型号：MC003-MGH686 测量范围：X：600 Y：800 Z：600 探测系统：PH10T+TP200静态温度补偿系统 分辨率：0.1um 示值误差：1.5+L/350 探测误差：1.8 空间尺寸：1950，1230，3070（长宽高） *大载荷（kg）：280 重量（kg）：2000 控制系统：双计算机集成控制系统 驱动系统：DC直流伺服电机，精密无牙丝杠和齿形带传动 轴承：自洁式预载荷高精度空气轴承 软件配置：Automet通用几何量测量软件/autometCAD可选曲线，曲面测量软件，螺纹，齿轮测量软件，凸轮叶片测量软件，蜗轮，蜗杠测量软件，SPC/QCC统计与质量控制软件。 气源处理系统：两极过滤，精度为3um