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用户定制设备

用户定制设备
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简单介绍
大型真空实验装置 等离子体研究系统 大型超高真空排气台部件
产品描述

空间模拟系统

用于模拟太空热真空环境。真空腔体内可放置待试验的空间飞行器或其部件。它可做热真空热试验,热循环试验,热控试验,抗静电试验及热光学试验等。

设备尺寸: φ1000mm,φ2000mm, φ3000mm 。

极限真空:冷态( -173℃ ~ -60℃ ) 1×10-4Pa 。

热态(+ 100℃ ) 1×10-4Pa 。

温度的均匀性: ±5℃ 。

系统一次连续工作时间不少于 360 小时。

四靶磁控溅射设备

用于磁控溅射镀膜。可一次完成工艺相同或不同的四个样品的镀膜任务。

磁控靶: 4” ( φ100 ), 4 个

自转样品架: 4 个

极限真空度: 5×10-4Pa

全程控镀膜工艺过程

大型真空实验装置


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