◣ 清洁度等级的上限浓度(个/m3)
Fed. std等级
－
等级1
等级10
等级100
等级1000
等级10000
等级10000 0
JIS等级
等级2
等级3
等级4
等级5
等级6
等级7
等级8
粒径（μｍ）
0.1
101
102
103
104
105
106
107
108
0.2
2
24
236
2360
23600
-
0.3
1
10
1010
10100
101000
1010000
10100000
0.5
(0.35)
(3.5)
35
350
3500
35000
350000
3500000
5.0
29
290
2900
29000
清洁度等级 、粒径范围
0.1～0.3
0.1～0.5
0.3～0.5