◣ 清洁度等级的上限浓度(个/m3)
Fed. std等级
－
等级1
等级10
等级100
等级1000
等级10000
等级10000 0
JIS等级
等级2
等级3
等级4
等级5
等级6
等级7
等级8
粒径（μｍ）
0.1
101
102
103
104
105
106
107
108
0.2
2
24
236
2360
23600
-
0.3
1
10
1010
10100
101000
1010000
10100000
0.5
(0.35)
(3.5)
35
350
3500
35000
350000
3500000
5.0
29
290
2900
29000
清洁度等级 、粒径范围
0.1～0.3
0.1～0.5
0.3～0.5
迈向21世纪，*先端产业的发展，加速了产业构造的变革，无尘室设立之必要性也相对地提高。商品日渐的小型和精密化，尘埃和温湿度的变化对商品的完成度亦造成极大的危害，导致品质低下。伴随商品的高品质要求，环境无尘化的需求也日益提高。因此在无尘室中使用防尘材料及商品都显得格外重要。