PLD激光脉冲镀膜 Pioneer240 北京正通远恒科技有限公司

PLD激光脉冲镀膜

如果您对该产品感兴趣的话，可以
产品名称：PLD激光脉冲镀膜
产品型号：Pioneer240
产品展商：其他品牌
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简单介绍

激光脉冲镀膜(PLD)是一种用途广泛的薄膜沉积技术。脉冲激光快速蒸发靶材，生成与靶材组成相同的薄膜。PLD的独特之处是能量源（脉冲激光）位于真空室的外面。这样，在材料合成时，工作压力的动态范围…

产品描述

技术参数

Pioneer240
1、*大wafer直径 4”

2、*大靶材数量 6个1” 或3个2”

3、压力(Torr) <10-8

4、真空室直径 24”

5、基片加热器 4”，旋转

6、*高样品温度 850℃

7、Turbo泵抽速
（liters/sec） 800

主要特点

*PLD概念清晰易懂：激光束使靶子表面蒸发，生产出与靶子同样化学组成的膜。
*PLD应用广泛：很多材料在多样的气体环境和很宽的气体压力范围内都可以镀膜。
*PLD节省成本：一束激光能够供多个真空系统使用。
*PLD高效率：在10至15分钟，可生长高质量的样品。
*PLD可升级：当需要大批量生产复合氧化物膜时，Neocera公司将证明PLD作为生产工具的价值。

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