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产品资料

电子束直写装置

电子束直写装置
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：电子束直写装置
  • 产品型号：
  • 产品展商：其他品牌
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍
1.*小线宽：小于10nm 2.加速电压：1－50kV 3.电子束直径：小于2nm 4.套刻精度：50nm 5.加工晶圆尺寸：5－8英寸（标准），12英寸（可选）
产品描述

日本CRESTEC公司针对科研领域推出了一系列的电子束直写装置，CABL9000系列是其*新推出的**产品，技术指标完全处于****水平。
目前，CRESTEC公司的用户已经遍及日本国内的各大实验室及高等院校。同时，CRESTEC公司积极开拓中国和美国市场，并已取得不俗的成绩。

 
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