TIME3221技术参数 1、测量参数：Ra、Rp、Rv、Rt、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rc、RPc、RSm、Rmr(c)、tp、Rmr、Rpm、Rz1max、RzJIS、Rmax、Htp、Rδc、、RΔq、RΔa、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、A1、A2 Pa、Pp、Pv、Pt、Pz、Pq、Psk、Pku、Pc、PSm、Pmr(c)、Pmr、Pz1max、PzJIS、Pδc、PΔq； 2、传感器：检测原理：电感式测量范围：400μm 针尖半径：5μm 针尖材料：金刚石触针测力：4mN 触针角度：90° 导头纵向半径：45mm 3、*大驱动行程：19mm 4、量程和分辨力