一、技术参数 行程范围：X轴----500 mm Y轴----600 mm Z轴----400 mm 结构型式：活动桥式 传动方式：柔性齿同步带+预载荷高精度空气轴承 长度测量系统：RENISHAW（英国）开放式光栅尺，分辨率为0.5 μm 机台：高精度花岗岩平台
使用环境：温度(20±2)℃，湿度55%-65% ，温度梯度1℃/m 温度变化 1℃/h 空气压力：0.4 MPa - 0.5 Mpa 空气流量：100 L/min – 120 L/min
整机尺寸：1.2 m X 1.4 m X 2.2 m 机台承重：500 kg 整机重量：850 kg
控制及探针测量系统： 1．驱动系统：直流伺服电机 (日本) 2．控制系统：Renishaw （英国）UCC1 3．操作方式：计算机自动控制+微电脑操纵盒（Renishaw MCU1） 4．控制软件：SEREIN DMIS V2.0 5．探测系统：Renishaw（英国）MH20i +TP20 （标准配置） 6．测量不确定度（E）：（2.8+L/300）μm
三维激光扫描系统(选配)： 1. 控制软件：RESCAN 2. 操作方式：软件控制 3．扫描景深: 60 mm 4．单次扫描宽度 ：50 mm 5．扫描速度 ：1500 p / sec 6．扫描方式：激光线扫描 7．工件装夹方式：任意装夹 8．扫描精度：≤0.05 mm 9．数据格式：ASCII 通用格式，可通过软件转换成 IGS、STL、DXF、IMW等专用格式 10.激光系统：650nm波长激光，*大功率5mW, 连续可调。
二、可实现功能 1．柔性定位：找正、旋转、平移及坐标存取。 2．几何元素测量：点、直线、平面、圆、圆柱、圆锥、球、相交、距离、对称、夹角。 3．形状误差定位：直线度、平面度、圆度、圆柱度。 4．位置误差评定：平行度、垂直度、平面度、倾斜度、同轴度、位置度。 5．脱机编辑系统：自学习编程、脱机编程、自检纠错功能、CAD导入系统。 6．逆向工程。
三、机械特点 1．整机设计采用单边活动桥式结构，该结构紧凑，大幅降低了活动框架的重量，显著提高了系统的运动性能，确保了测量精度及稳定性。 2．三轴导轨均采用高精密天然花岗岩，使三轴具有相同的温度特性，保证测量过程中良好的温度稳定性及刚性。 3．三轴导轨均采用自洁式预载荷高精度空气轴承，使运动更平稳，导轨永不受磨损。 4．长度测量系统采用英国 RENISHAW 的自粘开放式金属光栅尺，使光栅尺与花岗岩基体的热膨胀系数接近，从而提高设备的稳定性。 5．控制系统采用英国 RENISHAW 的高速高精度自动控制系统，该系统内嵌32位微处理器，真正实现实时控制；上下位采用光纤通讯，增强了电气抗干扰能力。
四、应用范围 主要应用于航空、汽车、摩托车、**、电子、模具等行业。