型号
ES-CMM1086
ES-CMM1218
ES-CMM1521
X轴
800mm
1000mm
1200mm
Y轴
1500mm
Z轴
600mm
结构型式
活动桥式
传动方式
直流伺复系统/预载荷高精度空气轴承
长度测量系统
HEIDENHAIN开放式光栅尺,分辨率为0.5um (可选配0.1um)
机台
高精度花岗石平台(00级)
使用环境
温度(20±2)℃,湿度55%-65%,湿度梯度1℃m,温度变化1℃/h
空气压力
0.4MPa-0.5MPa
空气流量
100L/min-120L/min
整机尺寸(LWH)
2.0m×1.5m×2.7m
2.3m×1.8m×3.0m
2.6m×2.1m×3.3m
机台承重
1000kg
整机重量
2000kg
2200kg
2500kg