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真空热压烧结炉结构特点
结构特点
真空热压烧结炉由炉体、炉盖、保温桶、热压装置、发热体和电源、真空系统、水冷却系统及测温系统等组成(见图 1 )。
( 1 ) 炉体全部采用不锈钢制造,为双层结构,分内外桶体,炉底封头采用旋压工艺加工。因为热压装置产生的力要由炉体承受,炉体必需具有很高的强度和足够的刚度,在外力和高温下不得变形。炉底动密封装置的固定座中心线与炉体上法兰盘必需垂直,以保证下顶杆运动的直线度。动密土封装置固定座有良好的冷却条件,以延长密封件的使用寿命。
( 2 ) 炉盖由炉盖体、举起油缸(在图上未标出)和上压头组成。炉盖为双层结构,为承受下顶杆传递的压力,必需具有足够的强度和刚度。上压头的下端工作时处于高温区,必需强制冷却。
( 3 ) 保温桶由隔热桶、反射桶、保温层及桶体组成,分别用石墨、钼片、石墨毡和不锈钢制作。用钼片制作的反射桶主要抵御由发热元件产生的辐射热,以免损害保温层和炉体(如图 2 )
( 4 ) 热压装置由液压站、油缸、举起油缸、下顶杆及控制器组成。液压站有两路压力输出,一是驱动炉盖上下运动,二是驱动热压油缸运动。热压油缸的控制有两种方式,手动或自动。自动运行时,可根据设定的压力自动保压,使制品始终处于恒压状态。油缸运动的速度调节范围为 50~300mm/min 。热压油缸在有载工作时必需具有较高的稳定性,不能抖动。制备高质量的产品,热压油缸的运动质量是重要的条件之一。下顶杆是**一个在高温区有载运动的零件,承受高压和高温的作用,又要在高温区运动。要求它既不能变形,又不能在高温环境下氧化。因此它必需具有良好的冷却条件和动密封性能。整个炉体内的极限真空度在很大程度上取决于下顶杆动密封的情况。这是该炉的关键技术之一,要达到良好的动密封性能有很高的难度,这是不少研制者失败的原因之一。为保证极低的漏气率,一方面要提高加工精度,另一方面要选用适宜的密封材料。在该炉中,选择聚四氟乙烯作为动密封材料。其特点是能耐 300 ℃高温、耐烘烤、放气率低、耐磨损,而且具有良好的润滑性能。密封圈的几何形状(见图 3 ),是根据炉子在正、负压状态设计的。正压状态时,正压气室的气压使 A 圈抱紧下顶杆;负压时,负压气室的气流使 B 圈收缩,抱紧下顶杆。
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