●技術參數：
産品型號
VMS-1510G/F
VMS-2515G/F
VMS-3020G/F
VMS-4030G/F
金屬台尺寸
354*228mm
404*228mm
450*280mm
500*330mm
606*466mm
玻璃台尺寸
210*160mm
260*160mm
306*196mm
350*280mm
450*350mm
Y*X行程
150*100mm
200*100mm
250*150mm
300*200mm
400*300mm
Z軸行程
150mm
測量精度
（3+L/75）μm
放大倍率
40X-255X（台制物鏡/美國NAVITAR物鏡）
影像系統
台制1/3″彩色CCD/日産1/2″彩色CCD
解 析 力
0.001mm
照 明
LED光源，亮度可調
儀器電源
220V（AC），50Hz 30W
儀器重量
100Kg
110Kg
120Kg
140Kg
240Kg
外觀尺寸
756*540*860mm
670*660*950mm
720*950*1020mm