水汽深冷捕集泵北京长流科学仪器有限公司专业生产
水汽深冷捕集泵 Vapor Polycooler
◎应用原理
在高真空环境中都存在着一定的残余气体，
65％~95％是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，
但机械泵抽除残余气体的能力差，
时间长，而且残余气体是典型的*具副作用的污染
气体，是工件的污染源，从而使产品的产量和质量
受到影响。Vapor Polycooler水汽深冷捕集泵则是解决
这类问题的上佳选择。
Vapor Polycooler的工作原理：将一个-100℃以下的低
温盘管，
放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面
的低温冷凝效应，
迅速捕集真空系统的残余气体，从而大大缩短抽
真空的时间（可缩短25％-75％的抽气时间）、获
得洁净的真空环境，提高产品的产量和
质量，获得更高的商品价值。
Vapor Polycooler是一个低温制冷系统，通过在低温表
面的低温冷凝效应来捕集挥发性分子。主要用于开高
真空阀后捕集真空腔内
的水汽，快速制冷和除霜，也用于返油*小化控制。
◎产品优点
·温度可达到-120℃~-150℃。(*低可到-165℃)
·多种型号，*大制冷量可达到3500W。
·*大水汽抽速为250,000L/s，真空可达到1.5*10-12torr。
·快速捕集水汽、油蒸汽，在高真空系统中可缩短25％-75％的抽
气时间，提高真空系统生产能力约20%到100%。
·改善镀膜的品质，提高薄膜的附着力和多层镀膜能力。
·8路温度显示和监控，包括负载的入口和出口、本机内部多级制
冷、排气、冷却水等温度。
·6组**保护，包括温度、压力、电源相序及过载等。
·国际品牌制冷压缩机，绿色环保混合型制冷剂，高效可靠。
·完善的自动化控制，本地、远程可选，带RS485通信．
·一台机器可带2路负载输出，满足用户的不同需求．
◎6组**保护
·排气压力过低
·排气压力过高
·排气温度过高
·冷凝温度过高或过低
·制冷机过载或过热
·电源相序异常
VPC系列水汽深冷泵，运用自有的核心技术，成熟的设计方案，所有机型采用单台压缩机，环保混合制冷剂，自动复叠制冷，制冷速度快、效率高、温度低、维护方便。
我们提供完整的冷却方案，帮助客户减少生产费用，改进制程表现，提高工作场所**和增加生产可靠性。可替代液氮，节约成本。在实际应用当中，根据所放的位置不同可以
分为两类：
1、低温盘管 CryoCoil
低温盘管一般安装在真空室内，或高阀与真空室之间，适用于镀膜材料放气量较大的场合．低温盘管同时具备加热除霜功能，使低温盘管在每次开门之前恢复到常温，有利于下次抽真空。
2、低温挡板 CryoBaffle
安装在扩散泵上方，主要功能是防止油扩散泵的油气返流，同时也可以抽除水汽，提高真空度。
◎基本应用
·在光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统，可以用于真空室内抽吸水汽，也可以用于冷阱等冷却装置防止扩散泵返油。
型号
单位
VPC-200
VPC-500
VPC-1200
VPC-1800
VPC-3500
VPC-1200LT
制冷量
W
200
500
1200
1800
3500
420
工作温度
℃
-90~-135
90~-135
-100~-145
-120~-165
水汽补集速度
I/sec
12000
52000
74000
104000
250000
37250
极限真空度
torr
2×10-9
1.5×10-8
4×10-12
低温盘管面积
m2
0.1
0.3
0.5
1.0
2.0
0.25
低温盘管外径
mm
ф8
ф10
ф12
ф16
低温盘管长度
m
4
10
12
14
40
8
预冷时间
min
≤30
≤40
除霜时间
N/A
≤4
冷却方式
风冷（环境温度5-35℃）
水 冷 （水 温 t ≤30 ℃）
冷却水接口
inch
1/2
3/4
电源要求
V/P/Hz
kW
220/1/50
1.2
380/3/50
4.5
6.5
8.5
11.6
11.2
外形尺寸
Wmm
Dmm
H mm
520
980
600
620
1250
750
900
1650
920
1700
1750
·根据需要，低温盘管和低温挡板，可以分别安装．也可以同时安装。